题名:
压电微机电谐振器   ya dian wei ji dian xie zhen qi / (美)哈梅特·布格拉(HarmeetBhugra)，(美)詹卢卡·皮亚扎(GianlucaPiazza)主编 , 吴涛，李昕欣等译
ISBN:
978-7-111-63763-9 价格： CNY119.00
语种:
chi
载体形态:
11,351页 图 24cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2020.01
内容提要:
本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。压电MEMS谐振器具有微型化、更经济、更高性能的品质，在商业化方面极具潜力。 
主题词:
微电机   谐振器
中图分类法:
TN6 版次： 5
主要责任者:
布格拉 bu ge la 主编
主要责任者:
皮亚扎 pi ya za 主编
次要责任者:
吴涛 wu tao 译
次要责任者:
李昕欣 li xin xin 译
责任者附注:
哈梅特·布格拉，就职于美国IDT公司，领导了世界第一款压电MEMS时间传感器件的研发工作。詹卢卡·皮亚扎，教授，就职于美国卡内基梅隆大学电气与计算机工程系。